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KMLabs是向市场推出强大的工程化EUV系统的先锋。极紫外超快光源（XUUS4™）是KMLabs提供的第四代仪器，可将超快激光脉冲上转换到真空紫外（VUV）、极紫外（EUV）或软X射线（SXR）光谱范围。该系统采用高次谐波发生的方法，输出光束是完全相干和类似激光的。
产品特点：
● 光束的超稳定，4轴主动指向性稳定系统，产生与普通激光器相当的EUV光束强度和波前稳定性
● 根据不同的前级泵浦激光器，重复频率从1 kHz到> 100 kHz
● 用于性能监测和校准光路的诊断摄像头
● 图形化，直观的软件控制
● 稳定的工业级光学镜架安装在自动控温的平台上
● 越来越丰富的线束系列模块使得您可以轻松快速配置您的实验
● 基于多年的研发和第4代优化设计
● 高度相干的波前稳定的类似激光EUV光源
● 定制的XUUS系统可生成波长〜2nm的软X射线
● 波导设计允许在气体用量最少的情况下有效使用高压气体：比喷射气体设计体积小1000倍，效率提高100倍
● XUUS输出可针对不同的应用进行优化：ARPES，成像，瞬态吸收，MOKE，XMCD
XUUS极紫外超快光源是基于高次谐波的相干EUV/软X射线源，这是一套完全工程化和商业化的集成系统。这套系统使用了KMLabs的空心波导技术来产生高次谐波，输出光束是完全相干和类激光的。关于高次谐波（HHG）的产生，更多信息，请点击“高次谐波产生”。
KMLabs使用空心波导技术，在波导中可以实现高次谐波的最佳转换，使用最少的气体，获得最高的稳定性。对于最苛刻的应用，EUV通量可能超过> 5×10 12 ph / sec
波长范围：
● EUV 10-47nm（26-144eV）
● 软X射线4-10纳米（124-300 eV）
● 软X射线1-10纳米（124-1000 eV）
产品特点：
● 光束的超稳定，4轴主动指向性稳定系统，产生与普通激光器相当的EUV光束强度和波前稳定性
● 根据不同的前级泵浦激光器，重复频率从1 kHz到> 100 kHz
● 用于性能监测和校准光路的诊断摄像头
● 图形化，直观的软件控制
● 稳定的工业级光学镜架安装在自动控温的平台上
● 越来越丰富的线束系列模块使得您可以轻松快速配置您的实验
● 基于多年的研发和第4代优化设计
● 高度相干的波前稳定的类似激光EUV光源
● 定制的XUUS系统可生成波长〜2nm的软X射线
● 波导设计允许在气体用量最少的情况下有效使用高压气体：比喷射气体设计体积小1000倍，效率提高100倍
● XUUS输出可针对不同的应用进行优化：ARPES，成像，瞬态吸收，MOKE，XMCD
主要应用：
● 纳米电子计量学和支持EUV光刻
● 高空间分辨和时间分辨的相干成像
● 超快磁性材料和自旋电子学研究
● 光电子能谱学：tr-ARPES以及阿秒材料科学
● 高空间和时间分辨率泵浦探测研究
● 分子动力学和阿秒科学
主要参数：
XUUS产品参数
HHG波长
30nm
18nm
13nm
6.7nm
指向稳定性
<5 uRad RMS
功率稳定性
<5% RMS (100ms integration time)
|
标准XUUS成像光谱仪束线 |
|||
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可调光谱范围 |
25 to 47nm (26 to 49 eV) |
10 to 25nm (49 to 124 eV) |
3 to 10nm(124 to 400eV) |
|
光谱分辨率 |
0.05 to 0.1 nm |
0.1 to 0.5 nm |
0.1 to 0.75 nm |
|
聚焦的高次谐波束 |
<150 um |
<150 um |
<100 um |
KMLabs是向市场推出强大的工程化EUV系统的先锋。极紫外超快光源（XUUS4™）是KMLabs提供的第四代仪器，可将超快激光脉冲上转换到真空紫外（VUV）、极紫外（EUV）或软X射线（SXR）光谱范围。该系统采用高次谐波发生的方法，输出光束是完全相干和类似激光的。
RAEA是XUUS非常理想的泵浦激光器。实验表明，使用KMLabs的RAEA系列放大器进行泵浦，XUUS可以得到最大的转化效率。
RAEA系列：全新一代一体式的超快钛宝石放大器系统，XUUS最理想的泵浦源。
KMLbas最新一代基于光纤飞秒激光的真空紫外光源系统，体积小使用方便。
