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XUUS系列 EUV光源

    KMLabs是向市场推出强大的工程化EUV系统的先锋。极紫外超快光源(XUUS4™)是KMLabs提供的第四代仪器,可将超快激光脉冲上转换到真空紫外(VUV)、极紫外(EUV)或软X射线(SXR)光谱范围。该系统采用高次谐波发生的方法,输出光束是完全相干和类似激光的。


    产品特点:

    ● 光束的超稳定,4轴主动指向性稳定系统,产生与普通激光器相当的EUV光束强度和波前稳定性

    ● 根据不同的前级泵浦激光器,重复频率从1 kHz到> 100 kHz

    ● 用于性能监测和校准光路的诊断摄像头

    ● 图形化,直观的软件控制

    ● 稳定的工业级光学镜架安装在自动控温的平台上

    ● 越来越丰富的线束系列模块使得您可以轻松快速配置您的实验

    ● 基于多年的研发和第4代优化设计

    ● 高度相干的波前稳定的类似激光EUV光源

    ● 定制的XUUS系统可生成波长〜2nm的软X射线

    ● 波导设计允许在气体用量最少的情况下有效使用高压气体:比喷射气体设计体积小1000倍,效率提高100倍

    ● XUUS输出可针对不同的应用进行优化:ARPES,成像,瞬态吸收,MOKE,XMCD


XUUS极紫外超快光源是基于高次谐波的相干EUV/软X射线源,这是一套完全工程化和商业化的集成系统。这套系统使用了KMLabs的专利的空心波导技术来产生高次谐波,输出光束是完全相干和类激光的。关于高次谐波(HHG)的产生,更多信息,请点击“高次谐波产生”。


KMLabs使用专利的空心波导技术,在波导中可以实现高次谐波的最佳转换,使用最少的气体,获得最高的稳定性。对于最苛刻的应用,EUV通量可能超过> 5×10 12 ph / sec


波长范围:

● EUV 10-47nm(26-144eV)

● 软X射线4-10纳米(124-300 eV)

● 软X射线1-10纳米(124-1000 eV)



产品特点:

● 光束的超稳定,4轴主动指向性稳定系统,产生与普通激光器相当的EUV光束强度和波前稳定性

● 根据不同的前级泵浦激光器,重复频率从1 kHz到> 100 kHz

● 用于性能监测和校准光路的诊断摄像头

● 图形化,直观的软件控制

● 稳定的工业级光学镜架安装在自动控温的平台上

● 越来越丰富的线束系列模块使得您可以轻松快速配置您的实验

● 基于多年的研发和第4代优化设计

● 高度相干的波前稳定的类似激光EUV光源

● 定制的XUUS系统可生成波长〜2nm的软X射线

● 波导设计允许在气体用量最少的情况下有效使用高压气体:比喷射气体设计体积小1000倍,效率提高100倍

● XUUS输出可针对不同的应用进行优化:ARPES,成像,瞬态吸收,MOKE,XMCD


主要应用:

● 纳米电子计量学和支持EUV光刻

● 高空间分辨和时间分辨的相干成像

● 超快磁性材料和自旋电子学研究

● 光电子能谱学:tr-ARPES以及阿秒材料科学

● 高空间和时间分辨率泵浦探测研究

● 分子动力学和阿秒科学


主要参数:

XUUS产品参数

HHG波长

30nm

18nm

13nm

6.7nm

指向稳定性

<5 uRad RMS

功率稳定性

<5% RMS (100ms integration time)

标准XUUS成像光谱仪束线

可调光谱范围

25 to 47nm (26 to 49 eV)

10 to 25nm (49 to 124 eV)

3 to 10nm(124 to 400eV)

光谱分辨率

0.05 to 0.1 nm

0.1 to 0.5 nm

0.1 to 0.75 nm

聚焦的高次谐波束

<150 um

<150 um

<100 um



KMLabs是向市场推出强大的工程化EUV系统的先锋。极紫外超快光源(XUUS4™)是KMLabs提供的第四代仪器,可将超快激光脉冲上转换到真空紫外(VUV)、极紫外(EUV)或软X射线(SXR)光谱范围。该系统采用高次谐波发生的方法,输出光束是完全相干和类似激光的。


RAEA是XUUS非常理想的泵浦激光器。实验表明,使用KMLabs的RAEA系列放大器进行泵浦,XUUS可以得到最大的转化效率。


RAEA系列:全新一代一体式的超快钛宝石放大器系统,XUUS最理想的泵浦源。



KMLbas最新一代基于光纤飞秒激光的真空紫外光源系统,体积小使用方便。


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