通过对晶体形状、散热和光腔设计的优化组合 使得InnoSlab激光器对比其它激光器类型拥有非常多的优点和其它激光器类型不具备的独特性能.
● 短脉宽和高峰值功率 – 产生的极其微小的热区域 更适于高精度加工
● 近似理论值极限的高光束质量 – 更适合微加工
● 高功率和功率可提升 – 更高的生产效率
● 结构紧凑和性能稳定可靠 – 低运行成本
● 高效率- 低能耗,利于环保
● 输出光斑分布的高灵活性- 绿色加工和最大的能源效率
德国EdgeWave公司创建于2001年,是高端创新激光器产品的供应商。EdgeWave是世界尖端技术InnoSlab技术的先驱和当今世界这个新激光技术领域的领先者。InnoSlab 激光凭借其高能量、高脉冲频率、高光束质量和它的杰出特征-高度灵活性以及优化定制光束分布 已经成为现代激光器中最高效的加工手段。它能帮助使用者完善现有的加工工艺以及不断地开拓新的生产领域和新加工方法。
通过对晶体形状、散热和光腔设计的优化组合 使得InnoSlab激光器对比其它激光器类型拥有非常多的优点和其它激光器类型不具备的独特性能.
● 短脉宽和高峰值功率 – 产生的极其微小的热区域 更适于高精度加工
● 近似理论值极限的高光束质量 – 更适合微加工
● 高功率和功率可提升 – 更高的生产效率
● 结构紧凑和性能稳定可靠 – 低运行成本
● 高效率- 低能耗,利于环保
● 输出光斑分布的高灵活性- 绿色加工和最大的能源效率
InnoSlab短脉冲和超短脉冲激光器标准产品包括各种电光调Q的InnoSlab激光器,使用不同的激活介质 具有不同的脉冲能量、输出功率和波长:
● 光束质量: M² < 2
● 脉冲能量可达到 60mJ
● 脉宽可达到 4ns以下
● 峰值功率可达到 7MW
● 脉冲重复频率可到 150 kHz
● 平均功率可达 600W
● 波长 1064、 532、 355、266nm
InnoSlab激光器和放大器的一个与众不同的杰出特性在于其光束形状可量身定制: 从圆形高斯模式到一维线状平顶以及两维方形平顶等等
Edgewave 短脉冲激光器包含三个系列,BX-系列,IS-系列和GX-系列。
BX-系列是具有较低到中等功率和脉冲能量的电光调Q的InnoSlab激光器。为了保证高稳定性 这个系列的激光器使用被动式冷却的半导体激光器泵浦。IS-系列是具有中等到高等功率和脉冲能量的电光调Q的InnoSlab激光器。GX-系列是具备高功率和高脉冲能量电光调Q的InnoSlab激光器。
主要可以应用于:
● 光伏行业,例如硅晶园的划片、打孔和切割;薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
● 显示领域, 导电层的织构化,硅片的有序横向晶化 玻璃钻孔和切割
● 玻璃工业,如微钻孔和高速亚表面内雕
● 电子工业,例如对印刷电路板的切割和钻孔
● 工具制造和机械工程,如三维烧蚀快速成形
● 汽车制造行业,如: 燃油喷嘴阀的制造
● 工具和机械领域,如: 三维烧蚀快速成形
● 科研领域,如: 作为染料激光、OPO、Ti:宝石激光的泵浦,以及粒子成像测速
主要参数:
Model
BXxx-1
BXxx-2
BXxx-3
BXxx-4
Wavelength
(nm)
IR
Breen
UV
DUV
Beam
quality M2
1.1
1.1
1.6
2
Max.
average power (W)
80
40
12
6
Max.
repetition rate (kHz)
100
100
10
10
Max.
pulse energy (mJ)
7
3
1.5
1
Min.
pulse width (ns)
1
1
1
1
Model |
ISxxx-1 |
ISxxx-2 |
ISxxx-3 |
ISxxx-4 |
Wavelength (nm) |
IR |
Breen |
UV |
DUV |
Beam quality M2 |
1.1 |
1.1 |
1.6 |
2 |
Max. average power (W) |
400 |
200 |
70 |
20 |
Max. repetition rate (kHz) |
150 |
150 |
15 |
15 |
Max. pulse energy (mJ) |
60 |
30 |
15 |
4 |
Min. pulse width (ns) |
1 |
1 |
1 |
1 |
Model |
GXxxx-1 |
GXxxx-2 |
GXxxx-3 |
GXxxx-4 |
Wavelength (nm) |
IR |
Breen |
UV |
DUV |
Beam quality M2 |
1.1 |
1.1 |
1.6 |
2 |
Max. average power (W) |
800 |
400 |
200 |
30 |
Max. repetition rate (kHz) |
100 |
100 |
100 |
20 |
Max. pulse energy (mJ) |
120 |
60 |
30 |
5 |
Min. pulse width (ns) |
1 |
1 |
1 |
1 |